SATOVAC佐藤真空PHIL SFCV-1501 深圳巖瀨商業股份有限公司

SFCV-1501_小型CVD裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL

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產品名稱：SFCV-1501_小型CVD裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL
產品型號：SFCV-1501
產品展商：PHIL佐藤真空株式會社
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簡單介紹

SFCV-1501_小型CVD裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL 大學?研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した、管狀爐式の高溫熱CVD裝置です。少量?小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、同時に大幅なコストダウンを実現しました。

產品描述

SFCV-1501_小型CVD裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL

大學?研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した、管狀爐式の高溫熱CVD裝置です。少量?小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、同時に大幅なコストダウンを実現しました。
また、従來小型では困難とされてきた5～100Paでの圧力コントロール機能を備え、より多様な処理パターンに対応可能としました。さらこ炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報検出による機器停止、大気放出ガス希釈ユニットなどの**裝置を備えています。

主仕様

爐芯管	透明石英管（加熱溫度100～1000℃）
爐芯管	アルミナ管（加熱溫度1000～1400℃）
反応ガス供給	2～60sccm（水素、メタン、エタン、工チレン、アセチレン、ベンゼン等）
圧力コントロール	5～100Pa
可燃性ガス大気放出対策	エジェクタにより可燃混合範囲以下にエアで希釈排気

機器構成

型式			SFCV-1001	SFCV-1003	SFCV-1501
管狀爐	爐芯管	材質	透明石英管		アルミナ管
	爐芯管	內徑	φ24mm、φ50mm		φ24mm
	加熱溫度	常用	100～1000℃		500～1400℃
	加熱溫度	Max	1150℃		1500℃
	加熱域		1ゾーン	3ゾーン	1ゾーン
	ヒータ容量		1.0kW	2.4kW	1.2kW
真空排気	油回転真空ポンプ		排気速度：100～150L/min
ガス供給	マスフローコントローラ		流量：10～100sccm
ガス供給	ガス管型フローメータ		流量：10～100sccm
ガス希釈	エアエジェクタ		エア流量：15Nl/min
真空計	圧力制御		キャパシタンスマノメータ：0.133～1330Pa,100Pa～133kPa
真空計	大気復圧		デジタル連成計：-100kPa～+100kPa
制御	溫度制御		プログラム制御
制御	圧力制御		バルブON/OFF制御
操作パネル			各機器スイッチ、プログラム溫調計、真空計表示器：溫度、真空度、作動機器ON/OFF、警報、電源
電源	単相		100V?30A	100V?50A	200V?20A
外形寸法	Ｗ×Ｄ×Ｈ		1450×500×1200mm
質量			125kg	134kg	128kg

系統図

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SFCV-1501_小型CVD裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL

主仕様

機器構成

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