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產(chǎn)品資料

SFCV-1001_小型CVD裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL

SFCV-1001_小型CVD裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL
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  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：SFCV-1001_小型CVD裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL
  • 產(chǎn)品型號(hào)：SFCV-1001
  • 產(chǎn)品展商：PHIL佐藤真空株式會(huì)社
  • 產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
SFCV-1001_小型CVD裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL 大學(xué)?研究機(jī)関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開(kāi)発に適した、管狀爐式の高溫?zé)酑VD裝置です。少量?小サイズのテストピースが簡(jiǎn)単な操作で作れるように小型化し、同時(shí)に大幅なコストダウンを?qū)g現(xiàn)しました。
產(chǎn)品描述

SFCV-1001_小型CVD裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL

大學(xué)?研究機(jī)関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開(kāi)発に適した、管狀爐式の高溫?zé)酑VD裝置です。少量?小サイズのテストピースが簡(jiǎn)単な操作で作れるように小型化し、同時(shí)に大幅なコストダウンを?qū)g現(xiàn)しました。
また、従來(lái)小型では困難とされてきた5～100Paでの圧力コントロール機(jī)能を備え、より多様な処理パターンに対応可能としました。さらこ炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報(bào)検出による機(jī)器停止、大気放出ガス希釈ユニットなどの**裝置を備えています。

 

主仕様

爐芯管 透明石英管（加熱溫度100～1000℃）
アルミナ管（加熱溫度1000～1400℃）
反応ガス供給 2～60sccm（水素、メタン、エタン、工チレン、アセチレン、ベンゼン等）
圧力コントロール 5～100Pa
可燃性ガス大気放出対策 エジェクタにより可燃混合範(fàn)囲以下にエアで希釈排気

機(jī)器構(gòu)成

型式 SFCV-1001 SFCV-1003 SFCV-1501
管狀爐 爐芯管 材質(zhì) 透明石英管 アルミナ管
內(nèi)徑 φ24mm、φ50mm φ24mm
加熱溫度 常用 100～1000℃ 500～1400℃
Max 1150℃ 1500℃
加熱域 1ゾーン 3ゾーン 1ゾーン
ヒータ容量 1.0kW 2.4kW 1.2kW
真空排気 油回転真空ポンプ 排気速度：100～150L/min
ガス供給 マスフローコントローラ 流量：10～100sccm
ガス管型フローメータ
ガス希釈 エアエジェクタ エア流量：15Nl/min
真空計(jì) 圧力制御 キャパシタンスマノメータ：0.133～1330Pa,100Pa～133kPa
大気復(fù)圧 デジタル連成計(jì)：-100kPa～+100kPa
制御 溫度制御 プログラム制御
圧力制御 バルブON/OFF制御
操作パネル 各機(jī)器スイッチ、プログラム溫調(diào)計(jì)、真空計(jì)
表示器：溫度、真空度、作動(dòng)機(jī)器ON/OFF、警報(bào)、電源
電源　 単相 100V?30A 100V?50A 200V?20A
外形寸法 Ｗ×Ｄ×Ｈ 1450×500×1200mm
質(zhì)量 125kg 134kg 128kg

系統(tǒng)図

 

系統(tǒng)図
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**免費(fèi)咨詢(xún)**：4008-933-365

 

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