SDL5321，盧德鎖式濺射裝置，SHINKO神港精機

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SDL5321，盧德鎖式濺射裝置，SHINKO神港精機

SDL5321，盧德鎖式濺射裝置，SHINKO神港精機

產(chǎn)品特點：

本機は、Φ100mmカソードを３元設(shè)けているため、多層膜が形成でき
Φ250mm內(nèi)±10％以下の膜厚分布を?qū)g現(xiàn)しております。
搬送室および成膜室は常時真空保持されますので、スループットの短縮が可能な、省スペース型ロードロック式スパッタリング裝置です。
タッチパネルの採用により、リアルタイムでプロセス確認が行えます。

產(chǎn)品用途：

本機は、省スペースを?qū)g現(xiàn)したロードロック式スパッタリング裝置です。
カセット室に*大Φ２7０のトレーが、標準で12枚セット可能で、連続スパッタリングが行えます。

**免費咨詢**：4008-933-365

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