AAH-36200SBW,真空裝置,SHINKO神港精機(jī)
產(chǎn)品特點:
本機(jī)は、大型基板用全自動蒸著裝置で、*大Φ400×L1800×10軸が処理できます 容易に基板の準(zhǔn)備が行える基板臺車ターンテーブル式の採用により、生産性の向上を図っています。 基板は低溫、高速成膜が可能なためプラスチック基板でも変形することなく処理できます
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