SRV4320,小型濺射裝置,SHINKO神港精機
產(chǎn)品特點:
SRV4000シリーズスパッタリング裝置は、Φ100mmカソードを3元と、Φ320の基板臺を有し、各種選定機能を持つR&D用バッチ型スパッタリング裝置のベストセラー機です
產(chǎn)品用途:
研究開発用に標準化された平行平板タイプのバッチ型スパッタリング裝置です SRV3000シリーズは、大學あるいは研究機関等での基礎(chǔ)研究実験に適し、優(yōu)れた成膜性能に加えコストパフォーマンスに徹した裝置設(shè)計となっています。 上位機種である、SRV4000、SRV6000 の各シリーズもご用意しており各種裝置構(gòu)成のコンパクト化を追求し、小型省スペースを?qū)g現(xiàn)しております。 また、主排気ポンプおよび電源等のあらゆる機構(gòu)?機能を各種選択する事によりお客様のニーズにお応えします
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