SRV3300，小型濺射裝置，SHINKO神港精機
產品特點：
RV3000シリーズスパッタリング裝置は、本體?操作盤?排気ポンプ等の全てを一體化し、省スペース化を実現しております。また、小型で有りながらΦ75mmカソードを３元備え、容易に多層膜が形成できます。
基板加熱、基板回転、逆スパッタ（オプション）も行えるため、広範囲な目的にご使用いただけます
產品用途：
研究開発用に標準化された平行平板タイプのバッチ型スパッタリング裝置です SRV3000シリーズは、大學あるいは研究機関等での基礎研究実験に適し、優れた成膜性能に加えコストパフォーマンスに徹した裝置設計となっています。 上位機種である、SRV4000、SRV6000 の各シリーズもご用意しており各種裝置構成のコンパクト化を追求し、小型省スペースを実現しております。 また、主排気ポンプおよび電源等のあらゆる機構?機能を各種選択する事によりお客様のニーズにお応えします
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粵公網安備 44030902000469號
