GTW718_真空排氣氣體過濾器_TAIYO太陽鐵工
半導體?液晶製造裝置用真空排気ガスフィルター「マルチコレクター」 半導體製造裝置の真空排気系では、生成物質により配管が短期間で閉塞、マルチコレクターは、長期間の安定操業を可能にしました。 【特長】 マルチコレクタ內で反応生成物を成長促進させます。 捕捉面積の大きなプリーツ狀カートリッジを採用しています。 長期間メンテナンスフリーを実現。 カートリッジは、電著効果 を持たせていますので、サブミクロンの粒子も逃しません。 マルチコレクターの後段の配管のメンテナンスは、長期間不要。 PCVD裝置、エッチング裝置、イオン注入裝置のドライ真空ポンプ前段又は後段に設置し、真空排気系のトラブルを低減します。 冷卻ユニットを設置する事により、生成物を強制析出させ、カラムライフを飛躍的に延ばします。 【主な用途】 PCVD裝置の真空、排気ラインのトラブル防止 エッチング裝置の排気側ラインの配管閉塞防止 液晶製造裝置の排気側ラインの配管閉塞防止 イオン注入裝置、PCVD裝置の真空ポンプの安定稼動 排ガス除害裝置の壽命の安定化 【備考】 テスト機の貸出しできます。詳細はお問い合わせください。 **免費咨詢**：4008-933-365
粵公網安備 44030902000469號
