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產品資料

AAPIG-16110D，DLC薄膜形成裝置，SHINKO神港精機

AAPIG-16110D，DLC薄膜形成裝置，SHINKO神港精機
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  • 產品名稱：AAPIG-16110D，DLC薄膜形成裝置，SHINKO神港精機
  • 產品型號：AAPIG-16110D
  • 產品展商：神港精機株式會社
  • 產品文檔：無相關文檔
簡單介紹
AAPIG-16110D，DLC薄膜形成裝置，SHINKO神港精機 AAPIG-16110D，DLC薄膜形成裝置，SHINKO神港精機
產品描述

AAPIG-16110D，DLC薄膜形成裝置，SHINKO神港精機

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產品特點：

標準Φ140×h400×12軸の基板に対し標準3μm（MAX10μm）のDLC薄膜を180分（うち成膜時間は60分）で作製する量産機です。

產品用途：

本裝置は各種基板に耐腐食性、耐磨耗性及び平滑性に優れたDLC（ダイヤモンドライクカーボン）薄膜をプラズマCVD法により成膜する裝置です。

プラズマ源に熱陰極PIGプラズマガン（獨自特許）を使用し真空中でガスを活性化し反応させて高品質のDLC薄膜を作製できます。

 

 

 

**免費咨詢**：4008-933-365

 

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