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產品資料

SWP,高密度等離子裝置,SHINKO神港精機

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  • 如果您對該產品感興趣的話,可以
  • 產品名稱:SWP,高密度等離子裝置,SHINKO神港精機
  • 產品型號:SWP
  • 產品展商:神港精機株式會社
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簡單介紹
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產品描述

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產品特點:

石英表面に沿って表面波を伝播させ、プラズマ生成を行う事から、表面波プラズマ(SWP)と呼び、無磁場で高密度なプラズマを発生させる事が出來ます。
この表面波プラズマ技術により、大面積プラズマの形成が可能となり、大面積基板の高速エッチング?アッシング?クリーニング処理が可能となりました。

 

 

 

**免費咨詢**:4008-933-365

 

 

 

 

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