SHINKO神港精機(jī) EXAM 深圳巖瀨商業(yè)股份有限公司

EXAM，等離子腐蝕裝置，SHINKO神港精機(jī)

如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話，可以
產(chǎn)品名稱：EXAM，等離子腐蝕裝置，SHINKO神港精機(jī)
產(chǎn)品型號(hào)：EXAM
產(chǎn)品展商：神港精機(jī)株式會(huì)社
產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

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產(chǎn)品描述

EXAM，等離子腐蝕裝置，SHINKO神港精機(jī)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

ハードモード?ソフトモードの切り換えで、異方性エッチング及び等方性
エッチングを?qū)g現(xiàn)します。
広域ターボポンプを使用している為、広い圧力範(fàn)囲でのエッチングが出來(lái)ます。
また、RFパワー，電極間距離，ガス流量などを、幅広く制御出來(lái)る裝置です。
研究開(kāi)発や小ロット生産に適しています。

【オプション】
ロードロック室
カセットｔｏカセット搬送

**免費(fèi)咨詢**：4008-933-365

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