晶片搬運用清潔機器人SEMISTAR - M系列，SEMISTAR-M101，YASKAWA安川電機
產品特點:
高速、高精度運送、小型·輕，行車軸裝載適用范圍擴大
對應吸附把持和邊緣把手方式
接通電源時的原點復位，不需要確保高信賴性
3軸水平多關節
產品規格： 名稱 SEMISTAR-M101(単腕清潔機器人) 形式 XU-RC350S-C03 適用晶片尺寸 200 mm/300 mm 対応 真空吸著/邊緣把手 標準結束長度 305 mm 動作軸數 3 搖臂方式 単腕 可搬質量?2 1 kg 動作範囲 R軸(伸縮)?3 650 mm θ軸(旋回) 6.28 rad、360° Z軸(昇降) 380 mm B軸(先端回転) - *小旋回直徑?4 485mm *大速度 R軸(伸縮) 4.36 rad/s、250°/s θ軸(旋回) 5.76 rad/s、330°/s Z軸(昇降) 300 mm/s 膠印線活動 - 位置決め精度 R軸(伸縮) 0.1 mm(P-P) θ軸(旋回)?5 0.1 mm(P-P) Z軸(昇降) 0.1 mm(P-P) B軸(先端回転) - 清潔度?6 ISO班 本體概略質量 37 kg
名稱
SEMISTAR-M101(単腕清潔機器人)
形式
XU-RC350S-C03
適用晶片尺寸
200 mm/300 mm
対応
真空吸著/邊緣把手
標準結束長度
305 mm
動作軸數
3
搖臂方式
単腕
可搬質量?2
1 kg
動作範囲
R軸(伸縮)?3
650 mm
θ軸(旋回)
6.28 rad、360°
Z軸(昇降)
380 mm
B軸(先端回転)
-
*小旋回直徑?4
485mm
*大速度
R軸(伸縮)
4.36 rad/s、250°/s
5.76 rad/s、330°/s
300 mm/s
膠印線活動
位置決め精度
0.1 mm(P-P)
θ軸(旋回)?5
清潔度?6
ISO班
本體概略質量
37 kg
**免費咨詢**：4008-933-365
粵公網安備 44030902000469號
