SATOVAC佐藤真空PHIL HSV-6-40 深圳巖瀨商業股份有限公司

HSV-6-40_真空蒸發裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL

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產品名稱：HSV-6-40_真空蒸發裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL
產品型號：HSV-6-40
產品展商：PHIL佐藤真空株式會社
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簡單介紹

HSV-6-40_真空蒸發裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL 當社の蒸著裝置は、大學などの各研究機関の実験裝置をはじめ小ロットの生産裝置として*も汎用性の高い裝置として設計されています。コンパクトな外観と優れた內部機構、コントロール系を有し、排気系は、手動式及び全自動操作が可能です。誘電體膜( 光學系) から、アルミ、クロムなどの金屬膜を容易に形成し、その応用は広範囲です。

產品描述

HSV-6-40_真空蒸發裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL

當社の蒸著裝置は、大學などの各研究機関の実験裝置をはじめ小ロットの生産裝置として*も汎用性の高い裝置として設計されています。コンパクトな外観と優れた內部機構、コントロール系を有し、排気系は、手動式及び全自動操作が可能です。誘電體膜( 光學系) から、アルミ、クロムなどの金屬膜を容易に形成し、その応用は広範囲です。他に電子ビーム蒸著及び膜厚モニターによる自動蒸著制御タイプ、生産用大型蒸著も製作しております。

主仕様

型　　式	HSV-3-30G	HSV-6-40		HSV-8-50
到達圧力	10^-3Pa order
基板加熱溫度	無	Max 300℃
蒸発源（電極）	2対 10V Max150A
バルブ操作	手動	自動	手動	自動	手動
排気系	手動	自動	手動	自動	手動
● 構　　造
ベルジャー	300φ×300H 透明ガラス	400φ×400H　　（水冷式） SUS 304		500φ×500H　　（水冷式） SUS 304
ベルジャー內機構	シャッター機構、抵抗加熱機構	回転機構、シャッター機構、加熱ヒーター、抵抗加熱機構
● 排気系
油拡散ポンプ	3inches	6inches		8inches
真空ポンプ	150L/min	500L/min
主バルブ	3inches	6inches		8inches

**免費咨詢**：4008-933-365

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HSV-6-40_真空蒸發裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL

主仕様