■高真空での各種実験?開発?生産プロセスに対応。

■空冷式により水配管不要、保守の負擔を軽減。

■場所を選ばない100V 電源。

■メインフレーム?ベースにアルミを採用、軽量化を実現。

■使いやすさを追求したコンパクト設計。

ターボ分子ポンプ排気システム<TPS>タイプ

● MZまたはスクロール型ドライ補助ポンプと組合せてフルドライの排気系に。

● 起動?停止に要する時間が短い。

● 不意の大気導入にも強い構造のターボ分子ポンプを採用。

（注）故意に大気導入を繰返しますと故障の原因となります。

油拡散ポンプ排気システム＜DPS＞タイプ

● より低コストで高真空雰囲気を得られます。

● 三方弁の切替機能により、補助ポンプのみの単獨排気運転も可能。

● 保守點検が容易。

<TPS>タイプ

<DPS>タイプ