SDP-8_油擴散泵_SATOVAC佐藤真空PHIL
*1 SDP-2A,SDP-3A,SDP-4Aは空冷式です。 *2 使用作動油: ライオンS
高真空度が必要とされる場合に採用される真空ポンプで、10-5Paが安価に得られます。熱せられた拡散オイルがノズルから噴射されることにより発生する超音速のジェット噴流によって、高真空域まで排気します。単獨運転はできず、油回転真空ポンプをバックポンプとして、組合せて使用します。なお、組合せて排気セットとした製品は真空裝置內の高真空排気裝置をご參照ください。
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