SDP-4_油擴(kuò)散泵_SATOVAC佐藤真空PHIL
*1 SDP-2A,SDP-3A,SDP-4Aは空冷式です。 *2 使用作動(dòng)油: ライオンS
高真空度が必要とされる場(chǎng)合に採(cǎi)用される真空ポンプで、10-5Paが安価に得られます。熱せられた拡散オイルがノズルから噴射されることにより発生する超音速のジェット噴流によって、高真空域まで排気します。単獨(dú)運(yùn)転はできず、油回転真空ポンプをバックポンプとして、組合せて使用します。なお、組合せて排気セットとした製品は真空裝置內(nèi)の高真空排気裝置をご參照ください。
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