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公司新聞

日本KASHIYAMA樫山-進(jìn)口干式真空泵SDE系列

日本KASHIYAMA樫山干式真空泵簡(jiǎn)介:


可靠的真空技術(shù)。 各種產(chǎn)品,具有**的威力。

富山工業(yè)的產(chǎn)品贏得了半導(dǎo)體和液晶制造等現(xiàn)代領(lǐng)域客戶的高度評(píng)價(jià)。

這種信任的基礎(chǔ)是多年來積累的真空技術(shù)。

特別是,一系列干燥泵是半導(dǎo)體制造工藝的標(biāo)準(zhǔn),是真空技術(shù)的**,在具挑戰(zhàn)性的工藝中表現(xiàn)出高的可靠性,受到客戶的高度評(píng)價(jià)。

除了干泵外,富山真空技術(shù)(如機(jī)械增壓泵、真空排氣系統(tǒng)等)產(chǎn)生的產(chǎn)品在各個(gè)領(lǐng)域都非常強(qiáng)大。

主要類型

規(guī)格/型號(hào) SDE90X SDE120TX SDE200 SDE303X SDE603X SDE1203TX SDE20N12TX SDE30N20 SDE60N20
大排氣速度
[L/min] *1
1,300 1,500 3,300 5,000 10,000 20,000 30,000 50,000 100,000
到達(dá)壓力
[Pa] *1
1.3 0.5
電源電壓
(50/60Hz)
3 相 AC200 至 220V
功耗 [kW]*2 1.3 2.8 2.7 1.5 1.6 3.2 3.3 3.7
外觀尺寸 [mm]*3 L 690 930 900 1000 1000 1080
W 370 400 400 450 450 515
H 501 500 905 1000 950 950

*1) N2未**時(shí)的值。 *2) 到達(dá)運(yùn)行時(shí)的消耗電力概要值。 *3) 包裝尺寸。 有關(guān)詳細(xì)尺寸,請(qǐng)索取外觀圖。
*有關(guān)海外標(biāo)準(zhǔn),請(qǐng)聯(lián)系我們。 此外,規(guī)格和型號(hào)名稱如有更改,恕不另行通知。
*有關(guān)兼容氣體類型,請(qǐng)聯(lián)系我們。


排氣性能曲線

排氣性能曲線
*排氣性能曲線因組合而異。


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