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公司新聞

日本YATAKA半導體制造用壓力控制設備-進口壓力調節器
關于半導體制造用壓力控制設備
e-flow 高純度氣體壓力調節器適用于半導體工廠，可提高高純度，并盡可能抑制外部泄漏、顆粒和死區。
用于半導體工廠設施（設備）的氣缸氣穴、掛鉤、閥體和設備制造商的集成單元，用于各種氣體。
因為它是高度氣密性的產品，它是特殊高壓氣體和有毒、腐蝕性和易燃氣體的理想之選。

高純度氣體壓力調節器陣容
L系列：接頭對接焊接規格，產品采用外部密封金屬結構。
R 系列; 本產品采用主體擰入（NPT）規格，外部軟密封結構。 焊接規格為插入式焊接。
D系列：先導結構的帶電子控制的壓力調節器，是L、R系列和壓力控制單元的組合產品。
U 系列; 主體切割的特殊規格，對接焊接規格，外部密封是金屬密封結構。

關于潮汐方式和自由方式的調整閥

我們的標準規格是自由提升閥系統，但許多海外制造商采用潮汐隔膜結構。 由于結構不同，存在長處和短處，但高純度對應時，自由式是無死區和氣密性檢查時無手柄操作的標準。L61系列（平面密封式高壓大流量型）


L61系列（平面密封式高壓大流量型）

功能
高壓
焊接規格 金屬墊片接頭
調節閥結構
平面密封散裝氣體
兼容氣體
非氣體
標準流量
100～500NL/min




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